真空系统要求获得并保持真空状态,如果存在严重的漏气则是系统的重大缺陷,那么就需要进行相关的真空检漏。
透气和漏气的本质不同。透气是气体从密度大的一侧向密度小的一侧渗入、扩散、通过和逸出的过程,任何材料都有一定的渗透率。漏气是由于材料本身的缺陷或封口部不良,导致气体分子从高压侧流向低压侧的现象。还有一种情况是常温下不发生漏气,但温度变化时由热膨胀系数的差异也可能导致漏气。图1是影响系统真空度的气体来源示意图。
严格地讲,任何真空系统都有漏气现象存在,漏气是绝对的。针对不同的真空系统,可以容许有一定的漏率。目前的真空技术,可以确保超高真空系统的容许漏率≤1.33×10 -11 Pa.m3/s。
真空检漏已经成为真空系统制作和使用中不可缺少的环节。真空检漏的方法多种多样,最具代表性的氦质谱检漏和四极质谱仪残留气体分析。
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